Industry Insight|Koliko je kritična čistoća plina u proizvodnji poluvodiča?

U proizvodnji poluprovodnika preovlađuje-dobro uspostavljen konsenzus: gornja granica performansi čipa je definisana dizajnom, dok donja granica proizvodnje zavisi od čistoće materijala.

Slika je preuzeta sa interneta.

Od čišćenja pločice i taloženja tankih{0}}filmova do jetkanja i dopinga, proizvodni proces za jednu pločicu od 12- uključuje više od 30 vrsta procesnih plinova, uključujući silan, amonijak, dušik trifluorid, volfram heksafluorid, klorovodik i još mnogo toga. Svaki gas mora biti isporučen u reakcionu komoru ultra-visoke čistoće.

Nečistoće u tragovima na nivou ppb (vlaga, kiseonik, čestice) koje ulaze u gasovod mogu izazvati defekte tankog-filma i kontaminaciju međufaza, direktno smanjujući proizvodni prinos. Uzimajući 3nm proces kao primjer, svaki pojedinačni čip vrijedi stotine američkih dolara; samo 1% fluktuacija u prinosu je dovoljna da se izbriše profit procenjen na desetine miliona.

Unutar industrije poluprovodnika, "visoka čistoća" ne znači "spremno za proces{0}}". Pravi izazov leži u zadržavanju čistoće - održavanju plina bez kontaminacije-u cijelom putu isporuke od izvora plina do mjesta upotrebe (POU).

Tri ključne zaštitne mjere rade u tandemu kako bi se to postiglo:

(1) Odabir materijala: Cijevi i tijela ventila su proizvedeni od VIM+VAR dvostruko pretopljenog nehrđajućeg čelika 316L kako bi se minimiziralo elementarno ispuštanje plinova iz osnovnih materijala.

(2) Površinska obrada: Hrapavost unutrašnje površine Ra Manja ili jednaka 0,25 μm (10 μin.) sa tretmanom elektropoliranja (EP) za smanjenje prianjanja čestica i adsorpcije vlage.

(3) Integritet hermetičkog zaptivanja: Brzina curenja helijuma manja ili jednaka 1×10⁻⁹ atm·cc/sec kako bi se u potpunosti blokirao prodor vanjske kontaminacije.

VIGOR VUPS Ultra-Proizvodna linija visoke čistoće pokriva cijeli lanac isporuke plina u skladu sa SEMI standardima, uključujući VCR metalne prednje{1}}zaptivke, membranske ventile visoke-čistoće i dvostepene regulatore tlaka-.

Svi proizvodi se sklapaju, testiraju i pakuju u duplo-vakuum- vreće u čistim prostorijama klase 100 prije otpreme. Ono što kupci dobijaju nisu samo pojedinačni ventili, već potpuni sistem za uključivanje-i-sustav ultra-visoke čistoće.

VIGOR proizvodi pouzdano funkcionišu u specijalnim sistemima za isporuku gasa i CVD/PVD gasovodima za snabdevanje gasom u brojnim fabrikama wafer, kompatibilni sa kritičnim procesnim gasovima kao što su silan, azot trifluorid i bor trihlorid.

Proizvodnja poluprovodnika je beskonačna utrka protiv zagađivača - i VIGOUR-ova misija je osigurati najčistiju moguću startnu liniju za ovu trku.